JEOL annuncia il lancio commerciale di HAXIS, il nuovo microscopio elettronico a scansione con fresatura ionica ad angolazione ridotta

JEOL Ltd. (president e CEO: Izumi Oi) annuncia lo sviluppo di HAXIS, il nuovo microscopio elettronico a scansione con fresatura ionica, con inizio delle vendite previsto per il 5 ottobre 2026.

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HAXIS Low-angle Ion Milling Scanning Electron Microscope

Microscopio elettronico a scansione con fresatura ionica ad angolazione ridotta HAXIS

Contesto dello sviluppo

Con la continua miniaturizzazione e la sempre maggiore complessità delle strutture dei dispositivi a semiconduttore avanzati, il contatto e la misurazione dei circuiti su scala micrometrica tramite nanomanipolatori sono diventate operazioni ardue, e il contatto generato dalla sonda può influenzare il target dell'analisi, rendendo necessario il ricorso a nuovi metodi di analisi dei guasti.

JEOL ha effettuato ricerche a lungo termine sulla tecnologia di rilevamento del contrasto di tensione passivo (PVC) e, grazie al miglioramento dei rivelatori e delle tecniche di preparazione dei campioni, ha sviluppato un metodo che consente di ottenere una tecnologia di osservazione PVC stabile ed estremamente riproducibile.

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JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Giappone
Izumi Oi, presidente e CEO
(codice azionario: 6951, Tokyo Stock Exchange - Prime Market)
https://www.jeol.com/

JEOL Ltd.
SI Sales Division
[email protected]
https://www.jeol.com/contacts/products.php

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